国产工业级原子力显微镜！埃米仪器完结数千万元Pre-A轮融资

  埃米仪器建立于2022年，企业建立以来一向引领国内高精密 3D 量测设备的国产化，霸占核心技能。产品聚集于纳米/亚纳米级三维结构的高精密高速量/检测配备。产品首要运用在于芯片制程中的微结构量测和缺点查验测验，处理相关范畴的卡脖子技能。

  截止现在，埃米仪器已推出在线工业级原子力显微镜量测设备APEX-X1（全自动机台）、科研级原子力显微镜量测设备APEX-1000 （半自动机台）、高速光学扫描轮廓仪UltraView-1000、UltraView-2000等。未来将继续推出混合量测设备、高通量原子力显微镜等设备。其在线工业级原子力显微镜APEX-X1已完结某芯片头部企业的产品正式交给。

  博将本钱该项目出资负责人陆元昊表明，量测设备未来将与光刻设备并行开展，发挥至关重要的效果，而原子力显微镜作为精度最高的量测设备，在先进制程中正在成为量检测主力设备。埃米仪器仅建立2年时刻便成功研制出国内首台在线工业级原子力显微镜并已实现在某头部芯片客户交给。一起，公司经过推进高通量AFM、混合量测等方法补偿传统AFM机台在量检测速度的约束，将大大拓展传统原子力显微镜的应用范畴。咱们坚决看好公司的开展，未来也将在多方面继续支撑公司。

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