是使用光学干与原理研制开发的超精细外表概括丈量仪器。它以白光干与技能为原理、结合精细Z向扫描模块、3D 建模算法等对器材标明上进行非触摸式扫描并树立外表3D图画,可测各类从超润滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体外表,从纳米到微米等级工件的粗糙度、平整度、微观几许概括、曲率等参数。
SuperViewW白光干与非触摸式概括仪测外表三维描摹粗糙度具有丈量精度高、操作快捷、功用完全、丈量参数包括面广的长处,丈量单个精细器材的进程用时短,保证了高款率检测。白光干与仪的特别光源方式,能够广泛适用于从润滑到粗糙等各种精细器材外表的丈量。
1)样件丈量才能:单一扫描方式即可满意从超润滑到粗糙、镜面到全透明或黑色原料等一切类型样件外表的丈量;
2)单区域主动丈量:单片平面样品或批量样品切换丈量点位时,可一键完结主动条纹查找、扫描等功用;
3)多区域主动丈量:可设置方形或圆形的阵列方式的多区域丈量点位,一键完结主动条纹查找、扫描等功用;
4)主动拼接丈量;支撑方形、圆形、环形和螺旋方式的主动拼接丈量功用,合作印象导航功用,可自定义丈量区域,支撑数千张图画的无缝拼接丈量;
5)编程丈量功用:支撑丈量和剖析同界面操作的软件模块,可预先装备数据处理和剖析过程,结合主动单丈量功用,完结一键丈量;
6)数据处理功用:供给方位调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功用;
7)数据剖析功用:供给粗糙度剖析、几许概括剖析、结构剖析、频率剖析、功用剖析等五大剖析功用。
8)批量剖析功用:可依据需求参数定制数据处理和剖析模板,针对同类型参数完结一键批量剖析;
9)数据报表导出:支撑word、excel、pdf格局的数据报表导出功用,支撑图画、数值成果的导出;
11)快捷操作功用:设备装备操纵杆,支撑操纵杆进行一切方位轴的操作及速度调理、光源亮度调理、急停等;
12)环境噪声点评:具有0.1nm分辨率的环境噪声点评功用,定量检测出仪器遭到外界环境搅扰的噪声振幅和频率,为设备调试和毛病排查供给定量依据;
13)气浮隔振功用:选用气浮式隔振底座,可有用阻隔地上传导的振荡噪声,保证丈量数据的高精度;
14)光源安全功用:光源设置无人值守下的主动熄灯功用,当检测到鼠标轨道长期未变化后会自主下降平息光源,避免光源高亮过热损坏,并有用延伸光源使用寿命;
15)镜头安全功用:两层防撞维护,软件ZSTOP防撞维护,设置后即以当时方位为位移下限位,不再下移且伴有报警声;设备装备压力传感器,并在镜头处进行了绷簧结构设计,保证当镜头磕碰后弹性回缩,进入急停状况,大幅减小磕碰冲击力,有用维护镜头和扫描轴,消除人为操作的安全危险。
针对完结样品超润滑凹面弧形扫描所需一起满意的高精度、大扫描规模的需求,SuperViewW白光干与仪的复合型EPSI重建算法,处理了传统相移法PSI扫描规模小、笔直法VSI精度低的两层缺点。在主动拼接模块下,只需求确认起点和结尾,即可主动扫描,重建其超润滑的外表区域,不见一丝堆叠缝隙。
SuperViewW白光干与非触摸式概括仪测外表三维描摹粗糙度可大规模的应用于半导体制作及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精细配件、光学加工、微纳资料及制作、轿车零部件、MEMS器材等超精细加工职业及航空航天、科研院所等领域中。
对各种产品、部件和资料外表的粗糙度、波纹度、面形概括、外表缺点、磨损状况、腐蚀状况、孔隙空隙、台阶高度、曲折变形状况、加工状况等外表描摹特征做丈量和剖析。
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